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2.¹â¶È¾«¶È£º¡À0.002Abs(0-0.5Abs)¡À0.003(0.5-1Abs)0.2£¥T
3.¹â¶ÈÖØ¸´ÐÔ£º¡À0.0008Abs(0-0.5Abs);¡À0.0015(0.5-1.0Abs)¡À0.15%T
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5.²¨³¤¾«¶È£º ¡À0.5nm
6.²¨³¤Öظ´ÐÔ£º0.15nm
7.²¨³¤ÏÔʾ£º0.05nm
8.ÔÓÉ¢¹â£º¡Ü0.03£¥T@220nmºÍ340nm
9.¹â¶È·¶Î§£º0¡«200£¥T£¬£0.4¡«4.0Abs
10.¹âѧϵͳ£ºË«¹âÊø±ÈÀý¼ì²â(µ¥¹âÊø¿ÉÑ¡),1200Ìõ/ºÁÃ×ÑÜÉäȫϢ¹âÕ¤
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